半導(dǎo)體工業(yè)的廢氣如何處理
半導(dǎo)體工業(yè)的廢氣如何處理
半導(dǎo)體指的是在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與***緣體之間的一種材料，主要應(yīng)用于集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、***功率電源轉(zhuǎn)換等***域，在半導(dǎo)體工業(yè)加工的過程中將會有部分的氣體排出，那半導(dǎo)體工業(yè)的廢氣有毒嗎，怎么處理***?
半導(dǎo)體工業(yè)在加工的過程中會使用到光刻膠、蝕刻液、清洗劑、顯影劑等溶劑，而這些溶劑是含有***量的有機物成分，排放出來的廢氣含有HCl、氨、HF等危險污染物，而主要處理的是具有揮發(fā)性的VOCs。
溫馨提示：VOCs污染物為有機化合物，在濃度較高且有火花或靜電情況下，極易發(fā)生閃爆現(xiàn)象。
半導(dǎo)體在制造過程中一般的污染源包括顆粒污染物、金屬離子和化學(xué)物質(zhì)等，而這些都是屬于有害的污染物。
半導(dǎo)體廢氣處理方法根據(jù)工業(yè)廢氣成分進(jìn)行廢氣處理設(shè)備的選擇：
沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮裝置：主要用于有機廢氣的治理， ***別適合于***風(fēng)量，低濃度場合;
噴淋塔：對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ，半導(dǎo)體廠封閉車間***都采用***型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理。
TO直燃爐(催化燃燒裝置)：對***風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣，TO直燃爐一般會搭配沸石轉(zhuǎn)輪使用。
